中微公司  视觉中国 资料图

10月29日，中微公司（688012）发布第三季度业绩公告。期内营收为31亿元，同比增长50.62%；净利润为5.09亿元，增长了27.50%。当季研发投入为10.3亿元，同比增长了79.9%，占营收比例为33.25%。

今年前三季度营业收入为80.63亿元，同比增长约46.40%；净利润为12.11亿元，同比增长了32.66%。前三季度研发投入为25.23亿元，同比增长了63.44%，占营收比例为31.29%。

中微公司表示，公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。 

其中CCP方面，公司用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长， 60比1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备，量产指标稳步提升，下一代90比1超高深宽比介质刻蚀设备即将进入市场；ICP方面，适用于下一代逻辑和存储客户用 ICP 刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得了良好进展。加工的精度和重复性已达到单原子水平。

此外，公司为先进存储器件和逻辑器件开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已经顺利进入市场， 并且设备性能完全达到国际领先水平， 薄膜设备的覆盖率不断增加。公司硅和锗硅外延EPI设备已顺利运付客户端进行量产验证，并且获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端开展生产验证。

公告显示：今年前三季度，公司刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%。

中微公司前三季度净利润增长低于营收增长。公司解释称，2025 年前三季度营业收入增长46.40%下， 毛利较上年增长约8.27亿元； 由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长， 2025 年公司显著加大研发力度， 以尽快补短板， 实现赶超， 为持续增长打好基础。 2025年前三季度公司研发支出较上年同期增长 9.79 亿元（增长约 63.44%），研发支出占公司营业收入比例约为31.29%，远高于科创板均值；此外，由于市场波动，公司 2025 年前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元，较上年同期增加约2.75亿元。

此外，中微公司还发布公告，公司于2025年10月29日召开第三届董事会第七次会议，审议通过《关于回购股份集中竞价减持计划的议案》。公司计划自本公告披露之日起15个交易日后的3个月内，通过集中竞价交易方式，按照市场价格累计减持不超过约210万股已回购股份，占公司总股本的0.33%。若此期间公司发生送红股、资本公积金转增股本等导致公司股本总数变动的情形，公司将对减持股份数量进行相应调整。

29日收盘，中微公司报收296.66元，微涨0.39%，总市值1857.52亿。